• 姓名: 吴德馨
  • 性别: 女
  • 职称: 研究员,中国科学院院士
  • 职务: 院士
  • 学历: 本科
  • 电话: 
  • 传真: 
  • 电子邮件: dxwu@ime.ac.cn
  • 所属部门: 高频高压器件与集成研发中心
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 曾任:

    国家重大科技攻关课题负责人;

    攀登计划首席科学家;

    国家重大基础研究顾问专家组成员;

    中科院学部主席团成员;

    中国电子学会常务理事;

    半导体与集成技术分会主任;

    第九届、十届全国人大常委会委员和教科文卫委员会委员等职务。

    社会任职:

    研究方向:

  • 半导体器件和集成电路

    承担科研项目情况:

    代表论著:

    专利申请:

    获奖及荣誉:

  • 在国内率先提出了利用MEMS结构实现激光器和光纤的无源耦合。并研究成功工作速率达10Gbps的光发射模块。其中“先进的深亚微米工艺技术及新型器件”获2003年北京市科学技术一等奖。

    独立自主开发成功全套0.8微米CMOS工艺技术。获1998年中科院科技进步一等奖和1999年国家科技进步二等奖。作为国家攀登计划首席科学家负责“深亚微米结构器件及介观物理项目研究。开展了12项课题的研究。为介观物理基础和新结构器件的进一步研究打下基础

    作为工艺负责人研究成功N沟MOS 4K、16K动态随机存储器和成品率的提高。独创了检验接触孔质量的露点检测法。并推广到上海器件五厂。分别获得1980和1981年中科院科技成果一等奖两次。负责平面型高速开关管的研究,独立解决了提高开关速度的关键问题,并推广至上海器件五厂和109厂,为两弹一星采用的109计算机提供器件基础。获国家新产品一等奖。

    2004年,获何梁何利技术科学奖。