• 姓名: 陈大鹏
  • 性别: 男
  • 职称: 研究员
  • 职务: 副所长
  • 学历: 博士
  • 电话: 
  • 传真: 
  • 电子邮件: dpchen@ime.ac.cn
  • 所属部门: 
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

    社会任职:

    研究方向:

  • 微细加工技术

    承担科研项目情况:

  • (1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;

    (2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;

    (3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;

    (4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;

    (5)科技部863项目;

    (6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;

    (7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;

    (8)中科院知识创新方向性项目。

    代表论著:

    专利申请:

    获奖及荣誉:

  • 2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖