获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2017年
获奖名称: 原子层沉积系统的开发与应用
主要完成人: 夏洋、李超波、孙清清、陈波、万军、李楠
完成单位: 皇家赌场网址hj9990、嘉兴科民电子设备技术有限公司、复旦大学
成果介绍:
获奖类别: 2017年北京市科学技术奖三等奖,2017年中国电子学会科学技术奖技术发明类一等奖
获奖等级: 三等奖
授奖部门: 北京市人民政府
开始日期:
结束日期:
登记人: