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获奖时间 获奖名称 获奖类别 完成人(主要参加者)
2008年12月 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 北京市科学技术奖一等奖 赵晋荣、张伯旭、耿锦启、张建勇、李东三、王宝全、李 兵、孙 岩、张秀川、刘利坚、赵梦欣、南建辉、夏 威、白志民、徐 华
2009年12月23日 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 国家科学技术进步二等奖
2011年3月28日 首都科技条件平台中科院研发实验服务基地 首都科技条件平台中科院研发试验服务基地先进集体二等奖
2011年11月28日 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用 北京市科学技术奖一等奖 刘 明、谢常青、陈宝钦、卞福良、龙世兵、田 炜、商立伟、朱效立、姬濯宇、沈俊然、王 琴、李 友、叶甜春、段小楠、徐 佳
2008年 90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 2008年国家科技进步二等奖 徐秋霞
2007年 90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 2007年教育部科学技术一等奖 徐秋霞、叶甜春
2007年 中高频声表面波关键材料及技术研究 2007年国家技术发明二等奖 刘明
2005年 高性能栅长27纳米 CMOS器件及关键工艺技术研究 2005年北京市科学技术一等奖 徐秋霞 钱 鹤 韩郑生 刘 明 陈宝钦 叶甜春 夏 洋 赵玉印 侯瑞兵 李俊峰 周小茵 高文方
2005年 High Performance 70nm CMOS Devices 2005年中国科协期刊第一届优秀论文奖 徐秋霞 钱鹤 殷华湘 贾林 季红浩 陈宝钦 朱亚江 刘明
2005年 亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究 2005年国家技术发明二等奖 徐秋霞 钱鹤 韩郑生 刘明 陈宝钦 叶甜春
2005年 High Performance 70nm CMOS Devices 2005年中国科协期刊第一届优秀论文奖 徐秋霞 钱鹤 殷华湘 贾林 季红浩 陈宝钦 朱亚江 刘明
2004年 先进的深亚微米工艺技术及新型器件 2004年北京市科学技术一等奖 吴德馨 刘训春 叶甜春 谢常青 陈大鹏 郑英奎 魏 珂 李 兵 汪锁发 刘 明 曹振亚 陈宝钦 刘晓伟 胥兴才 赵知夷
2003年 20万门CMOS门阵列技术研究 2003年北京市科学技术三等奖;2003年国防科委国防科学技术三等奖 黄令仪 朱亚江 洪一 陈晓东 仇玉林 叶青 黄令仪 仇玉林 陈晓东
2002年 0.18/0.1微米CMOS集成电路关键技术 2002年北京市科学技术二等奖 钱 鹤 徐秋霞 刘 明 朱亚江 海潮和 陈宝钦 韩郑生 陈焕章 李俊峰
2001年 0.18 / 0.1微米CMOS集成电路关键技术 2001年科学技术部“九五”攻关优秀成果奖 微电子中心